根據伺服驅動器產生的故障特點可以分為兩大類，一類是在運行中出現的自動停機，并會有的故障顯示代碼，這類的問題可以根據機器自帶的指導說明書去分析處理。像這樣的故障一般都是因為伺服驅動器運行參數設定錯，或者外部條件影響伺服驅動器所產生的自我保護現象。另一類是由于使用環境惡劣所引起的短路，潮濕引起的絕緣降低或者擊穿等突發的故障，嚴重時可能會出現打火、爆炸等現象。發生這類故障，處理方法是先對伺服驅動器解體檢查，重點查找損壞件，故障發生區要進行清理、測量和更換，之后再進行全面測試，然后恢復系統空載試運行，觀察觸發回路輸出測的波形，當6組波形大小和相位差一樣以后再加載運行，以便解決故障。